竺法潜虽与王公贵族交往，但这并不是他本心所乐意的，于是他又回到剡县的仰山，以遂其志，打算逍遥山林之间，以度余年。高僧支遁派人来求买仰山傍边沃洲上的一个小山岭，欲作为幽居之处。竺法潜对来人说：“他来了山岭就给他居住，谁听说过巢父、许由(相传为尧时隐士，尧欲让位给二人，皆不受。)这样的隐士要买山而居。”后来支遁在给一位高丽和尚的信中说：“高僧竺法潜，中州刘元真公的弟子，是位意志和操守坚定不移的人。以前住在京都，维持法网，大众敬仰，是弘扬佛法的巨匠啊!”竺法潜因道业靖济，不耐尘俗，隐居山泽，修德就闲，在剡县的仰山上，带领一些志同道合的人，论道说义，虽隐居不出，却偶还有闻。于晋孝武帝宁康二年(公元374年)卒于仰山，年89岁。

   孝武帝下诏说：“法深法师，理悟虚远，既有远见卓识，又纯洁质朴。放弃宰相的荣华富贵，过着僧人的清贫生活。隐居尘世之外，笃勤不懈，我们本要依赖他宣扬佛法，以济苍生。然而他却奄孙绰曾把竺法潜与刘伯伦(刘伶，竹林七贤之一)相比较，孙绰说：“竺法潜道素渊重，有远大之量；刘伶肆意放荡，以宇宙为小。在隐居不仕方面，刘伶不如竺法潜，但在淡泊名利，心胸豁达方面， 两人是一致的。”

   当时在仰山还有位僧人竺法友，志业强正，博通众典，曾跟从竺法潜学习《阿毗昙经》，只一夜时间就能咏诵。竺法潜

   竺法蕴义解经文，悟解入玄，尤其擅长《放光波若经》。

   康法识在佛教教义方面也是很有学问的，而且草书、隶书方面也很知名。曾与康听相遇，康听认为自己的书法胜于康法识，于是两人各模仿了一篇王羲之的草书，别人拿到市场上去卖，竟分不出高下。康法识还善于写经，同样见重于当世。

   竺法济幼年时就很有才华，文章写的很有文彩，著《高逸沙门传》。

   以上几人，都是竺法潜的高足，孙绰曾为他们作“赞论”，这里就不再摘抄了。