武则天晚年，土地兼并加剧，人口大量流亡。她提倡佛教，大修庙宇，又加重了农民的负担。长安五年(705年)，武则天病重。宰相张柬之率领文武群臣入宫杀死武则天的内宠张易之、张昌宗等，拥唐中宗复位，恢复唐国号和唐朝制度，武周王朝宣告结束。不久武则天在上阳宫病死，年82岁。遵照她的遗诏，仍以高宗皇后而葬，葬于乾陵，号为则天皇后。