中华民国北洋政府初年，高层政区因袭清末之制，设23个省，改各省总督、巡抚为都督。当时除台湾省为日本占领外，实际上有22个省。1914年4月，从四川析出川边特别区(治康定)；7月，在清末拟设省的热河、察哈尔、绥远三地区，设置了相当于省级的热河特别行政区(治承德)、察哈尔特别行政区(借治万全)和绥远特别行政区(治归绥)，8月阿尔泰办事大臣辖区改设为阿尔泰地方，直属中央(至1919年改属新疆)，10月，顺天府改制，原辖区域设置京兆地方。1924年，苏联归还原沙俄所占中东铁路沿线地方行政权，即沿铁路两侧各15公里范围，设置“东省特别行政区”(相当于省级)，主管机关驻哈尔滨。 

中华民国南京政府前期，全国仍为23个省(其中台湾为日本所占)，还有热河、察哈尔、绥远、川边、东省五个特别政区和京兆、外蒙古、西藏三个地方，以及宁夏、青海两个地区，共33个省级政区。1928年8月，直隶改名河北，奉天改名辽宁。1928年9月，撤销热河、察哈尔、绥远三个特别行政区，分别设置了热河省、察哈尔省、绥远省，同时撤销川边特别行政区，设置西康省，但当时暂未实行，至1935年设西康建省委员会于雅安。1928年11月，青海、宁夏建省。至此，全国有29个省和外蒙古、西藏两个地方。新建的6个省中，热河省辖原直隶热河道和内蒙古卓索图、昭乌达二盟20个旗，察哈尔省辖原直隶口北道和内蒙古锚林郭勒盟18个旗，绥远省辖原直隶归绥道和内蒙古乌兰察布、伊克昭二盟19个旗，西康省辖原四川省雅州府以西和西藏喀木地区，这4个省都属邻壤切块式设省；青海属边疆开发成熟式设省；只有宁夏才是省内分家式设省(系从甘肃省析出)。 

南京政府后期，日本战败，中国收复台湾省；日本傀儡政权伪

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